何以Elmo | 如何实现高精度多轴同步的半导体设备运动控制?

2025年10月23日

作为运动控制领域的全球领先企业，Elmo在刚刚结束的上海工博会上系统化地展示了其在半导体典型场景下的应用及解决方案，通过Elmo运动控制系列产品和软件，充分展示了其在龙门平台，多轴同步控制等方面的优势，重新定义了半导体设备控制系统的“大脑”与“神经中枢”。

1、龙门平台：实现微秒级多轴同步控制

半导体设备中广泛使用的龙门结构，其核心挑战在于实现双轴乃至多轴之间的精准同步。传统方案将同步算法置于上层控制器，受制于总线通信延迟，性能存在瓶颈。Elmo创新性地将龙门控制算法底层植入驱动器层面，实现了“执行层同步”。

此举彻底消除了通信延迟带来的误差，使得双轴能够在微秒级周期内实现完全同步。配合新一代Titanium系列多轴驱动器，系统甚至无需外部接线，在硬件内部即可完成闭环控制。

2、赋能高动态设备：突破动态性能上限

对于贴片机、点胶机、晶圆传输平台等高动态设备，Titanium系列驱动器因采用了氮化镓(GaN)与碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体工艺，使得产品开关频率与伺服电流环响应速度上取得突破性进展。更高的开关频率带来更平滑的转矩输出与更低的谐波损耗，而电流环响应能力的提升则直接增强了系统在高速高精场景下的动态性能。

Titanium Castanet 伺服驱动器

Titanium Harmonica 双轴伺服驱动

3、定制服务：将算法写进驱动器

面对愈加灵活、柔性的生产模式，Elmo支持深度定制化开发，例如根据韩国半导体客户的需求推荐使用的四轴一体化驱动器Platinum Solo Quartet，该产品将控制功能完全集成于驱动器内，无需外置控制器即可实现复杂轨迹规划。

更重要的是，Elmo提供了开放的软件开发环境，支持客户将专有算法，如固晶机中的“力位混合控制”直接写入驱动器。这一功能使设备商能够打造具备自主知识产权的控制系统，形成差异化竞争力。

4、精准控制：让“视觉+运动” 更简单

在半导体前道检测、晶圆对位等制造环节，精准定位始终是核心挑战。Elmo此次发布的运动控制器Titanium Maestro与上一代采用ARM平台的产品不同，全面转向x86架构，显著提升CPU与GPU的综合算力，并首次在控制器层级通过算法支持视觉处理，使得设备能够在本地直接完成图像识别、定位与轨迹规划任务，无需依赖外接工控机。