在多晶硅太阳能电池的生产工艺中, 绒面的制备一般采用酸蚀刻的方式进行,制绒效果的差异则以绒面反射率值的大小和蚀刻深度作为评价标准。本文通过调整制程参数而获取蚀刻深度分别为2.82μm、3.83μm、4.41μm、5.92μm的四组样片,分析了蚀刻深度与后续各制程之间的关系,确定了随着蚀刻深度的增加,镀膜厚度和正面电极主栅线的抗拉力有逐渐增加的趋势,同时扩散阻值与蚀刻深度没有必然的联系。根据最终的电性参数,确定了最佳的蚀刻深度。为了提高太阳能电池的光电转换效率,通常需要对太阳能电池表面做陷光处理[1]。常用的方式是使用热的碱溶液来获取金字塔状的表面,从而降低光的反射率,此种方式通常在(100)面有明显效果[2]。


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