应用介绍
【行业】半导体
【设备】AMHS
应用场景
场景1.EFEM中的cassette落座
场景2.OHB中的cassette落座
场景3.stocker中的foup落座
解决课题
1、不同种类的FOUP盒会因材质、颜色、重复使用导致的老化等各种因素影响检测，难以实现统一的稳定性评估标准。
2、open cassette质量较轻，难以正确下压驱动销，导致漏检的情况产生。
3、因生产要求，需要在机械手上直接安装传感器。但机械手上的空间有限，传感器难以安装。
价值提案
核心产品：按钮型光电传感器 EE-SA701/801
■ 与半导体FOUP盒规格相契合，不受材质、颜色、反射率、重量等各种影响，准确检测FOUP盒的落座情况。
■ 以光学方式检测驱动器的动作，对下压力的要求较低，即使是质量较轻的open cassette也可以进行稳定检测。同时， EE-SA701/801的机械寿命达500万次以上，实现超长使用。
■ EE-SA701/801采用薄型设计，备有柔韧性佳的耐曲折导线型，可实现搬运臂上的嵌入式安装搭载。
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（欧姆龙）
京公网安备 11011202001138号
