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应用介绍
【行业】SEMI
【设备】EFEM
【用途】用于半导体前道各种工艺机台的晶圆传输
使用场景
检测cassette内wafer是否有凸出，防止自动取片时发生异常。
场景：cassette内wafer的突出检查
解决课题
应对不同材质wafer的检测需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。
价值提案
核心产品：光纤传感器 E32/E3NX-FA
配备自动调谐、以及APC&DPC自动投光&受光校正，方便快速对应各种透明度的wafer。
相关产品
光纤传感器E32系列
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
智能光纤放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
若您对本产品感兴趣，欢迎扫码留下您的联系方式，欧姆龙工程师将尽快与您联络!
（来源：欧姆龙）
ABB以电气问题解决专家之志，回答未来之问。讲述与中国用户携手开拓创新、引领行业发展、推动绿色转型的合作故事，共同谱写安全、智慧和可持续的电气化未来。
IIANEWS 发起 2025-2026「智造·影响力」评选，旨在发掘和呈现产业发展中标杆。目前，评选已进入网络投票阶段
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