|
|
应用介绍
【行业】SEMI
【设备】炉管
【用途】用于晶圆的批量热处理
使用场景
检测石英晶圆舟晶圆是否有突出，防止自动取片时发生异常。
场景：晶舟上wafer的突出检测
解决课题
1、多达150片wafer时的高度检测，容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。
2、因检测距离远，调试时光轴对准难度大。
价值提案
核心产品：距离设定型光电开关 E3Z-LR
● 1级激光光源，保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。
● 激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改，方便远距离时光轴的调整。
相关产品
E3Z-LT / LR / LL
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/
若您对本产品感兴趣，欢迎扫码留下您的联系方式，欧姆龙工程师将尽快与您联络!
（来源：欧姆龙）
ABB以电气问题解决专家之志，回答未来之问。讲述与中国用户携手开拓创新、引领行业发展、推动绿色转型的合作故事，共同谱写安全、智慧和可持续的电气化未来。
IIANEWS 发起 2025-2026「智造·影响力」评选，旨在发掘和呈现产业发展中标杆。目前，评选已进入网络投票阶段
IIANEWS 发起 2025-2026「智造·影响力」评选，旨在发掘和呈现产业发展中标杆。目前，评选已进入网络投票阶段
微信扫一扫，关注IIANews公众号
微信扫一扫，进入IIANews微网
京公网安备 11011202001138号
