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Asyst技术公司日前宣布,东芝(Toshiba Corporation)在日本新建的12英寸晶圆厂已决定采用Asyst公司的“表现级晶圆厂自动化架构”(Performance Automation Architecture)。
据介绍,这套架构结合Asyst的“自动化物质处理系统”(automated material handling system, AMHS)、大气装载端口(atmospheric loadports)、射频识别(radio-frequency identification, RFID)追踪系统和自动优化(Automation Optimization)软件及其服务,可为东芝提供整合晶圆厂自动化解决方案。
东芝的新厂房选用了Asyst的合资企业——Asyst-Shinko公司的AMHS、先进12英寸晶圆装载端口(loadport)——IsoPort,以及Asyst的射频识别系统AdvanTag。AdvanTag将作为新厂房中主要的记录工具,以跟踪厂内50%以上的装载端口,以及所有物料运送和正在处理材料的情况。
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