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传感器

解决“热点”的秘密武器,新型版图分析软件可提高成品率

  2006年07月24日  

从事可制造性(DFM)研究的创新型企业Takumi Technology近日宣布推出一对新产品,用来优化IC物理设计并提高成品率。Takumi Inspect和Takumi Enhance能够监测、评价并自动修理亚90nm设计中的“热点”(hot spot)。

据该公司介绍,Takumi Inspect是一种在GDSII版图中检测影响成品率问题的版图分析软件。它能根据故障的概率对问题进行评价;Takumi Enhance是一种评价GDS版图潜在故障的自动物理设计优化系统,它按照故障机制对故障处理的优先次序进行排列,并利用优化技术来修理版图,从而消除多种故障机制,最终提供“无热点”的设计。

“虽然制造商已经采用OPC(光学接近校正)技术来减轻亚90nm设计中的亚波长问题,它仍然不能确保“无热点”的设计和高成品率,”Takumi公司首席执行官Adriaan Ligtenberg说,“我们与技术伙伴一起开发了两种工具,它们采用成品率、故障率、蚀刻参数、设计规则和来自代工厂的其它相关设置数据来检测、评价和自动修理版图上的热点,而不会引入新的冲突。”

Takumi Enhance在GDSII版图数据上工作,以检测、评价并自动修理关键区域的版图问题,包括单一接触孔或过孔、可印刷性和因未对准边缘和边缘差异问题引起的边缘放置误差。

Takumi公司在秘密运作两年多之后,于今年5月推出新产品,它认为自己不是传统的EDA工具提供商。该公司规定的使命是集成完整的解决方案,其中可能包括用户工具、第三方工具和服务。

Takumi新型工具的起价格是20万美元,具体情况取决于配置。

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