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传感器

EV Group的纳米印刷光刻联盟又添新成员

  2004年09月01日  

芯片设备制造商EV Group宣称,加拿大工业材料院国家研究理事会(NRC-IMI)最近加入了其纳米印刷光刻联盟。该联盟旨在使先进的纳米光刻技术商业化,这是一种采用大面积图形生成工艺的下一代技术。

2003年秋季,NRC-IMI购买了EV Group的半自动化热压系统EVG520HE,用于生成面向生物识别、磁性数据存储和其它应用的表面图形。EV Group于2003年与AMO GmbH就超紫外线纳米印刷光刻(UV-NIL)达成合作协议。AMO是一家致力于微米、纳米和光电领域应用材料开发的非赢利性组织,与德国亚琛大学有一定关系。

双方的合作为UV-NIL联盟打下基础,其目标是提供批量化的解决方案和基础设施,包括设备、工艺和化学药品供应商。

与此同时,美国国家标准技术学院参与资助的Molecular Imprints Inc. (MII)合资公司旨在建设与印刷光刻工艺有关的必要技术设施。参与合资的企业还包括:KLA-Tencor、Photronics、摩托罗拉实验室和德克萨斯州大学。

Nanonex、Obducat及其它公司也介入纳米光刻工具市场的竞争。


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