IC纳米探针设备供应商Multiprobe将PicoCurrent成像添加到其Multiscan Atomic Force Probe产品内。当与探针的参数提取功能结合时,PicoCurrent成像可提供灵敏的故障定位技术。
据该公司称,PicoCurrent成像揭示了与钨触点层光面接触的IC传导率变化。这种对比能够提供迅即的样本布局,使工艺缺陷如CVD裂缝及未对准的耗散被识别出来。
单个探针原子力显微镜技术向多个探针设备的扩展,使用户能进行所有必要的测量工作,在触点节点级就能确定失败或者评估工艺好坏。