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2025全景工博会
运动控制

Elmo微案例 | 解锁新身份,助力某晶圆探针测试机整机产能UP!

  2025年05月08日  

Elmo解锁新身份

作半导体运动控制问题解决专家

“一键启动”联合解决方案

助力设备产能UP!UP!

项目背景

一家业内领先的半导体行业精密技术设备制造商,正在开发一种先进的晶圆探针测试机,需要伺服驱动器及控制器提升整机性能。

项目需求

客户不希望采用体积庞大、价格昂贵且需要大量时间来开发、组装和测试的外部EMI滤波组件。

此外,他们希望运动整定时间小于30毫秒和静止抖动小于100纳米,同时提高整体机器产能。

项目难点

难点一、这款晶圆探针测试机具有一个XY 平台,共有超过15个运动轴,需要非常精准的控制。

难点二、晶圆探针检测需要非常精准的测量,因此必须保证系统内的电磁噪声超小。

难点三、对于半导体行业,一切尺寸都必须是极微小的,所以对尺寸的要求也极高,这对于运动控制来说尤其具有挑战性。

作半导体运动控制问题解决专家,Elmo能否圆满完成任务吗?

Elmo解决方案Gold Solo Bell+Platinum Maestro联合“出击”:小巧强悍、简易高效、精准运控。

Gold Solo Bell伺服驱动器

● 足够小巧,可以安装在机器内和移动负载上,并且足够坚固,可以承受机械冲击和高加速度。

● 将驱动器安装在机器内部无需电缆和电缆载体进出机器,并且无需电气柜,这些使得整个机器尺寸减少了大约30%。

● 机器的运动整定时间减少到10ms以下,静止抖动小于20nm,大大低于要求。

● 该驱动器的极高功率转换效率使机器本身更加高效,无需使用需要持续维护的耗能冷却方法。

● 由于Elmo的EMI可以忽略不计,无需笨重、昂贵的滤波器,从而使得机器更精简、性能更好。

● 客户无需投入时间和精力来开发和测试用于复杂环境的EMI降低解决方案,就能够实现所需的性能。

Platinum Maestro被选为机器运动轴的主控制器。卓越的伺服驱动器和多轴控制能力相结合,缩短了探针之间的时间,显着提高了整体产能。

项目成果

降本增效

成果一、Elmo的运动控制解决方案显著节省了成本与精力,晶圆探针测试机开发人员不需要外部设备来减少电磁干扰或外部冷却和通风组件。

成果二、在无需改变任何现有机器机械状况的情况下,通过Elmo伺服驱动控制,实现了降低成本,显著提高了整体机器生产力。

作半导体运动控制问题解决专家,Elmo解锁新身份成功,圆满完成任务!

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(来源:Elmo埃莫运动控制)

标签:埃莫  我要反馈
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