博世力士乐FTS磁悬浮柔性输送系统：赋能显示面板制造，引领高效精密传输新纪元

2025年12月03日

FTS磁悬浮柔性输送系统(图片来源：博世力士乐)

随着全球显示面板市场持续扩张，产业升级对核心制造设备提出了更高要求。根据相关预测，2025年全球显示面板市场规模预计将达1.4万亿元人民币，同比增长约7%，其中中国大陆市场份额首次突破半数，占据全球52.1%的产能。在这一背景下，高世代线(如G8.6 OLED)设备需求显著提升，推动传输技术向更高精度、更高效率方向演进。

FTS磁悬浮柔性输送系统在显示面板中的应用(图片来源：博世力士乐)

PVD镀膜设备作为显示面板制造的关键环节，其传输系统是确保基材(如玻璃、硅片等)在真空环境下精准、高效移动的关键模块，直接影响镀膜均匀性和良率。博世力士乐FTS磁悬浮柔性输送系统，凭借其在真空环境下的卓越表现，成为显示面板行业极具竞争力的解决方案。

自2004年首次将磁悬浮技术成功应用于光伏行业PVD设备以来，博世力士乐FTS系统持续升级，展现出在高真空、高温等严苛工况下的卓越适应能力。从显示玻璃基板到晶圆处理，FTS磁悬浮柔性输送系统展示了其特殊的处理特性，可以轻松应对从每个载体几克到 5,000 公斤的各种移动负载。结合FTS高重复定位精度和高达 5 m/s 的速度以及 20 mm/s 时最大 2% 的速度波动，是面板制造行业的不二之选。

· 广泛负载能力：单载体负载范围从几克至5000公斤，满足多样化工艺需求

· 高速高效传输：最高速度达5m/s，兼顾涂层工艺所需的低速精密控制

· 卓越的环境适应性：可在10⁻⁸ mBar高真空及150ºC高温环境下稳定运行

· 高精度的运动控制：重复定位精度达±0.02mm，速度波动小于±2%(20mm/s时)

· 无接触式设计：所有驱动元件均置于真空腔体外，传输过程中无粉尘产生

· 模块化结构：系统易于维护，显著降低设备全生命周期成本

FTS磁悬浮柔性输送系统的另一个独特之处是其运动控制功能和适用于低速使用，例如涂层工艺。无论是在洁净室、真空、惰性气体、高温还是化学领域使用，博世力士乐 FTS磁悬浮柔性输送系统都能满足各种运输和搬运任务的需求。