测试测量

科隆案例 | 超声波流量计在半导体工厂中的应用

2021年03月26日

　　超声波流量计在半导体工厂中的应用

　　非接触测量

　　长期稳定一致地测量

　　快速灵活的解决方案

　　便捷的耦合剂添加方式

　　背景

　　一家全球知名的半导体芯片制造商，在中国西安建立了一个新的生产工厂，扩大了他们芯片的产能。新的生产厂房的建设从破土动工开始只花费了20个月就完成了。厂房的总面积达到23 万平方米，厂区占地面积达114 万平方米。

　　测量要求

　　此类半导体工厂需要用到大量的水，包括冷却水、饮用水、中性水、冷冻水和污水等。这其中的水有部分是不导电的纯水，另外一部分水中可能含有腐蚀性的氢氟酸等介质。所有的这些流量都需要被测量和控制。这些测量不光要求高重复性的可靠测量，还希望是一个快速灵活的解决方案。

　　客户选择了外夹式的解决方案的主要原因是这是一种非接触式测量，在某些应用场合可以避免因为仪表的原因对生产用纯水造成污染，以及避免污水或过程水中腐蚀性液体对仪表的腐蚀。同时客户的管道有多种材质，塑料的或金属的，外夹式测量原理是一种非常快速灵活的测量形式，可以适用不同的管材。

　　客户所需求的测量范围也非常宽，从最小的1,5”，到最大的60”，以及这中间的所有口径。

　　科隆解决方案

　　科隆提供了 OPTISONIC 6300，它有灵活的外夹式测量原理，并且轨道设计提供了一个快速简单的安装解决方案。在这个项目的第一期，科隆提供了101 台OPTISONIC 6300 带 UFC 300W 转换器和基本型输入输出机芯。传感器规格分布为：

　　23 个小型传感器

　　34 个中型传感器

　　44 个大型传感器

　　所有的OPTISONIC 6300 通过电流输出与 DCS 系统相连。客户后面的第二期和第三期项目也正在考虑采购此款超声波流量计。

　　客户利益

　　使用 OPTISONIC 6300 使客户体验到非常灵活快速的解决方案。外夹式仪表的灵活性和宽泛的应用范围保证了客户在任何测量点都可以快速灵活的进行测量。全厂使用的是同一型号的流量计在一定程度上实现了仪表的互换性，也简化了备品备件的库存。具有专利技术的“轻按-翻转”固定机械装置，即使在添加耦合剂后，也可以确保测量的重复性。

　　选用产品