Cadence发布针对铜效应的新版提取工具

Cadence公司面向标准单元设计的最新版Fire&Ice QXC提取工具不仅增强了几项功能,而且提高了精确度。Cadence是在2001年收购Simplex Solutions公司时获得此工具的。

Cadence纳米分析与验证部总经理Jim Bailey表示,3.2版Fire&Ice工具的特色是具有一个新的电容建模引擎,可用于伸缩性设计。

“我们大约从一年前开始与客户合作,以便创建一个新引擎来应对新的铜效应问题,”Bailey说,“新引擎融入很多用于65纳米设计的方法,但目前主要被客户用于130纳米及更小尺寸的设计。”据他透露,10家客户获赠了该工具的早期版本,其中一些客户设计的芯片已经出带。

Cadence纳米分析与验证部工程总监Radha Vaidyanathan表示,电容建模引擎和其它增强功能提高了工具的精确度。

与Random Logic公司的QuickCap电容提取工具(它被业界视为黄金标准)相比,Fire&Ice 3.2版提供的结果与总电容的标准偏差≤2.5%。换言之,当QuickCap的精确度在±8%的范围内时,Fire&Ice将确保整个芯片上99.7%的节点被正确提取,而当QuickCap的精确度在±10%的范围内时,100%的节点将被提取,Vaidyanathan说。

对于全芯片耦合,当QuickCap的精确度在±15%的范围内时,90%的节点将被提取,而当QuickCap的精确度在±25%的范围内时,100%的节点将被提取。这是为了造就重要的耦合对,它们的耦合电容小于0.5微法,而且耦合电容与总电容的比率小于10%,Vaidyanathan说。

Cadence还提高了工具对于裸片变异和其它在铜工艺上会出现的工艺问题的提取能力。Fire&Ice的前一版本只能处理斜线(biasing),所以当用户想缩小或扩大尺寸时,工具需要对矩形截面的变化进行建模。现在,该工具支持对用在新工艺中的梯形截面进行更精确的建模。

“我们现在做的建模采用了机器学习(machine-learning)概念,因为我们实际上能够对非线性的东西进行建模。”Bailey说。

Fire&Ice现在能够更好地对蚀刻效应和走线边沿扩展进行建模,Vaidyanathan表示。“制造走线的宽度不仅是宽度本身的函数,而且是相邻走线的函数。”他说,“你必须计算左右相邻走线的间距。我们现在能对这方面进行建模。”

该工具还能对由化学机械打磨(CMP)导致的腐蚀效应进行建模。“因为CMP的缘故,根据金属层的密度,腐蚀效应将侵蚀走线的厚度,并影响走线的密度。” 他介绍道,“现在,该工具已经具备测量密度和调整走线厚度的能力,并能测量腐蚀效应对电容和电阻的影响。”它还能对用于补偿腐蚀效应的虚拟填充区进行建模。此外,它可以通过感应建模来计算走线的“凹槽”或“沟槽”。

现在,Fire&Ice据称可以在Cadence的Encounter数字IC设计平台上“无缝”运行,这个平台包括三个点工具:用于信号完整性的SignalStorm、Celtic串扰分析器和VoltageStorm功率栅格验证工具。

作为2003年的一项促销措施,Cadence正在以5万美元的年许可费提供Fire&Ice 3.2版工具,而标准的一年许可费为14.4万美元。

作者:尚德斌