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英特尔院士、半导体国际技术蓝图组织主席Paolo Gargini日前表示,标准化可能比过去还要更进一步,使纳米技术能在450mm直径的晶圆上得到开发。
在Semicon Europa展览会的开幕新闻发布会问答中,Gargini被问到:“纳米技术能不能遵循与半导体制造相同的规则？”Gargini澄清道,如果纳米技术的定义是小于100纳米关键尺寸的结构,则英特尔早已经实现了标准化,因为这种纳米技术已提供了许多年。
“让我们来看300mm晶圆加工。标准化有助于实现自动化,减少劳力成本10%以下。在450mm我们可以重新进行标准化的讨论。在300mm我们使接口标准化。在450mm我们需要将制造的其它领域进行标准化,甚至是工艺腔内部。这样我们才能集中精力增加设计价值。”
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