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由欧盟委员会支持的一个项目开发出一种陀螺仪(gyroscope),并将之所为MEMS传感器和信号调理(signal conditioning)电路能够被结合的例证。
项目小组开发一种单芯片,在其标准硅层上面增加一复晶矽锗(poly-SiGe)层,作为微机电设备中使用科里奥利力(Coriolis force)来感应转速的结构层,底层的硅片中包含的CMOS电路将信号放大转换成数字信号。
由于使用硅和锗来实现微机电系统(MEMS),该项目的名称为SIGEM。该技术还可应用于加速计、微小镜片、共鸣器等设备。该项目从2002到2005历时3年,包括飞利浦、ASM International、Robert Bosch、GmbH和IMEC等公司参与其中。
SIGEM项目协调人兼IMEC公司的MEMS集成负责人Ann Witvrouw认为,这是第一次在陀螺仪和处理器之间实现这种技术。该小组开发选择开发陀螺仪,以供Bosch公司将来可能对更精确的陀螺仪的需求。陀螺仪可用于在汽车翻车时触发安全气囊,改进GPS导航系统的精确度,使汽车、飞机、机器人天线和工业设备在翻滚摇动时更稳定。
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