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应用材料公司(Applied Materials)的一名前高层管理人员最近领头组建了一家初创公司Luminescent Technologies,开发有望在分辨率增强技术(resolution enhancement technology, RET)领域取得突破的软件产品。
Luminescent Technologies首席执行官David Fried表示,该公司正开发一系列RET软件产品,用于光学近似修正(OPC)和相移光掩膜(PSM)应用。该公司的RET技术将成为光刻领域的突破性技术,Fried称。“光刻目前已成为巨大的瓶颈,”他表示。
Luminescent的RET技术设计面向“任何一种你想要的掩膜”。该公司表示仍然在开发第一款产品,但没有披露细节。Fried是应用材料公司的元老,前不久在这家芯片设备巨头公司负责服务业务。曾经担任客户生产力支持集团公司副总裁及总经理。Sevin Rosen的合伙人John Oxaal是Luminescent的董事会成员。
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