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FEI公司日前在美国举行的显微镜及微分析研讨会上,披露了据称具有最高分辨率的扫描传输电子显微镜。FEI声称,其商用仪器Titan 80-300率先面向亚埃级纳米技术,使亚埃级(原子级)成像及分析成为可能。
FEI主席兼CEO Vahe Sarkissian称,该公司的显微镜“为要求更高纳米级的研究机构、开发商和制造商带来重大突破。”
Titan将成为TEAM开发新显微镜的平台。TEAM(传输电子失常校正显微镜)是一个与美国基础能源科技局的合作项目,该机构协调美国国家实验室、大学和工业之间就显微镜而展开的努力。Oak Ridge国家实验室的Nanophase材料科技纳米级成像、特征化和处理中心也参与了该项目。项目目标是对单个原子以0.5埃分辨率进行直接观测及分析。有机分子通常包含最小的氢原子和碳。
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