应用材料公司(Applied materials)最近宣布,向中国科学院微电子研究所(IMECAS)捐赠一套半导体光掩膜制版系统,以供学生和科研人员进行半导体生产技术的研究和教学。
应用材料MEBES 4700S光掩膜制版系统于2000年面世,采用电子束技术,将每层半导体芯片图形刻蚀在石英衬底上,形成光掩膜之后通过光刻系统将这些掩膜转化到晶圆上。
据介绍,中国科学院微电子研究所于1986年成立,旨在研究微电子技术,并培养高水平科技人才。IMECAS为中国科学院旗下的综合性微电子研究机构,设有硕士和博士课程,为毕业生提供从事微电子产业研究和工作的机会。
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