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比利时大学间微电子中心(IMEC)宣布与十家芯片设备供应商签署战略合作关系协议,进一步拓展在亚45纳米研究和开发领域的成效。
欧洲研究与开发机构IMEC与Aixtron、应用材料、ASM国际、ASML、Dainippon Screen、FEI、 KLA-Tencor、Lam Research、Tokyo Electron和SEZ签署了协议,这使IMEC能尽早获得未来工具技术的诀窍,并且与顶级半导体制造商展开协作。
IMEC还宣称全球7家领先半导体制造商——英飞凌科技、英特尔、松下、飞利浦、三星电子、意法半导体和德州仪器以核心合作伙伴的身份加入了其亚45纳米研究项目。
目前IMEC的亚45纳米研究包括7个项目:193纳米沉浸蚀刻和EUV、清洗和污染控制、衬底模块、高移动性层实现和先进源/漏工程解决方案、高K介电质和金属门、新兴器件、锗基器件、先进互连方案和晶圆级封装。
IMEC硅工艺和器件技术副总裁Luc Van den hove 在声明中表示,“IC技术朝向45纳米工艺以下节点给设备工业提出了更大的挑战,为工具供应商创造了早期汲取未来工艺模块和器件诀窍的要求。”
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