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International Sematech与Xidex公司日前透露,已开发出基于碳纳米管的扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope, SPM)技术。 该技术将增强原子力显微镜(AFM)——SPM的一种形式——在未来器件工程设计和制造领域的应用需求。
Sematech与Xidex的技术采用碳纳米管作为SPM的表面传感器,用于测量半导体器件的大小。测量是通过一个单碳纳米管针(tip)进行的。这些针直接生长在硅悬梁上,据称能实现小至1nm的器件测量。碳纳米管开发商Xidex与德州大学(UT)化学与生物部合作研制了这种探针。
研究工作是在先进材料研究中心(AMRC)完成的。AMRC由德州和Sematech于2004年3月成立,与UT System和德州的其它大学协同研究新半导体技术。Xidex创始人兼CTO表示:“碳纳米管探针将使AFM作为实验室诊断工具更为有效,同时还能在制造时进行在
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