CEA与Crolles2合作,开发32纳米互补纳电子技术

法国原子能委员会(CEA)最近与Crolles2联盟签订了一个为期四年(2004—2007)的研发合同,Crolles2联盟的三个合作伙伴分别是意法半导体、飞利浦和Freescale半导体有限公司(原摩托罗拉半导体产品部)。这项协议预计四方将在300mm圆晶片上合作开发45、32纳米以及32纳米以下CMOS节点的纳电子技术。

这项研究项目由CEA-Leti(CEA电子信息技术实验室)在一个新的300mm制造厂完成,这个被称为Nanotec 300的新厂区位于格靳诺布尔市,日前举行了落成典礼。新厂区包括1000平方米的洁净室和在300毫米圆晶片上制造、晶质鉴定和测量电子器件如晶体管的各种设备。研究活动涵盖四个领域:高级图形形成、前端材料和工序、高级器件、后端材料和工序。这项研究活动将由CEA与Crolles2联盟合的三个作伙伴以及其现有的研究伙伴联合进行,包括比利时Leuven IMEC和美国德州奥斯丁Dan Noble中心。

据介绍,这项协议是CEA-Leti与意法半导体在格靳诺布尔地区达成的就200毫米圆晶片CMOS研究计划的继续。作为这项长期合作的一部分,两个实验室的研究员以及两个制造厂的圆晶片可以永久互换,标准的CMOS工序在Crolles完成,而较高级的技术在附近的CEA-Leti制造厂进行,从而优化了整体研究的投资。新的协议将采用与此相似的做法。

Nanotec 300项目得到了总计3亿欧元的支持资金,融资单位包括Crolles2联盟、法国政府和当地政府。

背景资料: CEA Leti

CEA在法国信息、能源、保健、国防安全四个领域的技术研发和创新方面发挥着重要作用,在法国共设立9个研发中心,CEA受益于地区的有力介入以及与其它研究组织、地区权威机构和高等院校建立的稳固的合作伙伴关系。

CEA格勒诺布尔实验室(Leti)是一个电子信息技术实验室,其微电子和微技术研究在欧洲处于领先水平,实验室共有员工900多人。每年提交专利申请110个,已成立或正在成立的新企业28个,已经成为业内主要的合作伙伴之一。

背景资料:Crolles2 联盟

根据一个有效期到2007年12月的五年期协议,意法半导体、Freescale半导体有限公司,在半导体工业内建立了一个联盟关系,Crolles2联盟的合作中心将重点研发半导体业最前沿的特殊技术,包括基准CMOS加工过程、嵌入式存储器(动静态和磁性RAM)、绝缘体上硅片、模拟CMOS、先进处理模块、先进铜互连、小功率设计和射频处理能力。联盟将从90nm开始逐步开发65nm、45nm直到最后的32nm CMOS加工技术,联盟早期推出的业内第一个90nm CMOS设计平台和片上系统解决方案单元库证明三方的合作是成功的。Crolles2联盟得到了法国政府和当地政府的支持。