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负责销售Molecular Imprints Inc. (MII)纳米印刷光刻设备(nano-imprint lithography equipment)的欧洲分销商Carl Zeiss NTS GmbH表示,目前正在积极争取英飞凌公司成为其创新光刻工具的潜在买家。该技术采用模板在光阻层上印刷结构。
英飞凌有望与美国芯片制造商Freescale Semiconductor、韩国科技学院等机构一样,成为MII纳米印刷机器的接纳者。
然而,早期的采购主要面向新兴应用如MEMS和生物医疗系统,或被用作研发和工艺开发设备,以验证纳米规模印刷技术用于主流半导体制造的可行性,Zeiss公司纳米印刷产品经理Norbert Reng表示。这是由于现有的机床不具备批量半导体生产所需的晶圆产出率。
Reng称,他相信纳米印刷光刻将可能补充芯片制造线上的光刻技术,可能用于关键层定义及专用领域,如触点孔定义。
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