半导体设备和材料国际(SEMI)组织已经批准了一种可以替代古老的GDSII设计格式的紧凑数据格式Oasis。Oasis规范现在可供下载,将Oasis带给设计师的阅读器和写入器的工作也可以开始进行。
Oasis由SEMI数据路径小组所开发,作为面向解决一个重大问题的途径:数据低效率造成的每年数十亿美元的损失。与GDSII流格式比较,Oasis据称紧凑程度提高到了10至50倍,更高效地代表了平面数据,兼容64位,只要图案生成或检查系统已知,就不需要进行数据准备。
Oasis 1.0最早是在2002年10月第一次提出的,在2003年7月得到了SEMI世界光刻委员会的批准。SEMI数据路径小组主任Tom Grebinski 表示,“这是一个一边倒的表决,没有任何人提出异议。”
Grebinski表示,在某种程度上,最新版本的Oasis规范比最初的1.0方案更先进。例如,Oasis现在具有“空间排序”功能,可以直接存取数据。“GDSII总是顺序的,每次你想寻找一条信息时,都从头开始。而在Oasis中,全都是直接存取。”
同期,Si2正与MicroEDA公司合作开发介于Oasis和OpenAccess的读出器及写入器。开发工作预计2003年第四季度开始。
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