中微半导体设备制造暨研发中心启用

引言：

　　中微还将于今年底举行台中分公司新址扩大及启用典礼，以提供中部客户更即时的服务以及解决方案，届时，竹南科学园区制造暨研发中心将同新竹分公司、台南分公司、台中分公司以及新竹和台南物流中心一起，组成完整的研发、制造及服务链，为台湾半导体客户提供最好的服务。

　　中微半导体设备致力于设计及生产，用于12寸晶圆厂关键性设备的高科技公司。目前研发总部位于中国上海，并在台湾、新加坡、日本、韩国等地设有服务据点。

　　中微半导体自主开发的12寸蚀刻机台Primo-DRIE，已在全球成功打进位于亚洲9家的客户的12条晶片生产线，并顺利量产了两百多万45及40纳米技术的晶圆，28纳米部分制程技术也通过了验证。其线宽均匀性已达到2纳米以下，并实现正负1%的重复性和稳定性。中微半导体设备公司作为一家国际性公司，非常愿意在台湾投资、生根，成为亚洲地区的研发、生产及制造基地，与客户及供应商一起深耕台湾半导体产业。

　　中微半导体成立于 2004年，台湾分公司于2007年登记成立，并于2010年底进驻竹南科学园区。厂房建置自2011年2月开始进行，于极短时间内即完成厂内无尘室设备的运转，并于5月下旬开始了第一台十二寸蚀刻自有产品Primo-DRIE的组装测试，预计于9月中即可正式出货给台湾重要的客户。

　　2011年中微半导体已投入金额约1亿元，完成台湾生产线的设立，AMEC台湾的产线不单单负责生产机台，还涵盖后端的组装、测试，也就是说从台湾工厂出货的机台，将可以直接运送到客户端作生产用，而不再需要运到第三地作其他的加工或是测试。

　　未来将再投入2至3亿元建立研发中心，和客户以及本地的关键零组件厂商进行共同研究开发，生产新一代的产品（CIP，ContinuousImprovementParts），以带动国内科学园区的产值，更能藉由供应练的在地化，增加就业机会。

　　中微还将于今年底举行台中分公司新址扩大及启用典礼，以提供中部客户更即时的服务以及解决方案，届时，竹南科学园区制造暨研发中心将同新竹分公司、台南分公司、台中分公司以及新竹和台南物流中心一起，组成完整的研发、制造及服务链，为台湾半导体客户提供最好的服务。