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应用介绍
【行业】SEMI
【设备】清洗机/CDS/SDS
【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等
应用场景
通过侧窗导管显示液位的情况，并对液位进行限制。
解决课题
1、按照生产要求，需要至少对四个液位位置(上限位置、供给停止位置、供给开始位置、下限位置)进行判定。
2、检测液位上下限的要求不同。
价值提案
核心产品：光纤传感器E32-A01/A02(卡管型)、光纤放大器E3NX-FA
■ 小型卡管式安装，快速部署四个液位位置的检测。
■ 考虑到断线时的安全，备有有液体状态(A01)和无液体状态(A02)下的入光两种类型。
相关产品
光纤传感器E32
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
光纤放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
若您对本产品感兴趣，欢迎扫码留下您的联系方式，欧姆龙工程师将尽快与您联络!
（来源：欧姆龙）
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