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工业连接

解决方案 | 碳化硅晶体生长工艺,长晶炉精准温控方案

  2024年08月09日  

在半导体硅片制造中,涉及晶体生长、晶锭切片、外延生长、 晶圆设计、制造、封装等多个流程,每一个工艺均至关重要。而晶体生长作为上游关键环节,不仅决定了晶体质量,还直接影响到后续所有工序的质量和最终器件的品质与性能。

长晶炉是实现晶体生长的核心设备,承担着制造优质晶体的重要任务,包含炉体、加热系统等多个关键组成部分,这些部分共同作用,一同创造出适合晶体生长的环境。在晶体生长过程中,热场和工艺条件决定了晶体的质量、尺寸等关键指标。

长晶炉设备运行时的温度可达上千度,同时对于热场监控的要求也很高,需要在长晶过程中精准调控生长温度,以保证为晶体生长提供适宜的温度环境。水冷因其优异的散热性能和热稳定性,广泛应用在长晶炉腔体冷却系统中。

针对该工艺的严苛要求,史陶比尔提供水冷回路的自动对接方案,可根据实际工况和使用环境定制设计,赋能长晶炉整体设备和工艺性能,进而提高晶体质量。

01、将水路集成到一块基板上,配合浮动和导向机构,实现精准对接

02、全自动快速对接和断开,温控更灵活,大幅降低废料率、稳定晶体质量;可在维护时提高效率,减少停机时间,保障生产连续性

03、流体接头采用平头无滴漏技术,高度密封,确保回路断开时无介质泄漏,确保生产安全和回路清洁

作为全球快速连接系统的领先制造商之一,史陶比尔积累了近70年深厚的工业连接经验,在航空航天、铁路、核电、医疗设备、数据中心等多个跨行业领域拥有丰富液冷批量交付经验,能够满足半导体制造行业的严苛要求。

结合遍布全国的服务网络,我们能够快速响应客户各阶段需求,提供高效、本地化的支持,为您带来长期稳定的合作保障。

(来源:史陶比尔流体连接器)

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