客户及设备介绍
郑州某机械设备有限公司，是国内超硬珩磨油石行业的领军企业。主要生产划片机、划片刀、陶瓷吸盘、修刀板等应用于电子行业的切削设备及超硬材料切削工具的研发制造，是国内第一家同时具备设备研发能力和刀具制造能力的企业，是集研发、生产、销售、服务为一体的高新技术企业。目前，划片机产品已在国内多家企业成功配套使用，刀具产品已成功配套各类划片机各种材料的切割;
晶圆打磨是晶圆制造过程中的重要一环，切割出的晶圆微观表面是凹凸不平的，需要是经过多道研磨工序后，才能经行刻蚀，研磨的精度直接影响后续刻蚀的质量，而研磨的精度除了电机的影响，很大一部分取决于驱动器的控制精度。
客户要求
晶圆厚度尺寸偏差是研磨过程的一个重要参数指标，要求能达到千分之二到千分之三;该项目设备使用的是一台国产的异步电机，常规转速为4000～6000RPM，要求驱动器的输出电流在空载条件下小于1.5A，从而减小电机的抖动;同时驱动器的控制稳定性也非常重要。
CT 解决方案
为了达到客户高精度、高转速、高稳定性的要求，尼得科驱动(CT)为客户推荐了HS30驱动器;系统方案为HS30驱动器拖动一台高速异步电机对晶圆进行研磨;驱动器型号为HS30-03200100A，最大输出频率达到3000Hz，电机额定转速为4000RPM，额定电流为3A。
驱动器铭牌
电机铭牌
产品、方案优势
HS30驱动器能够开环驱动高速异步电机，不需要带编码器，最高频率能够达到3000HZ，具有优异的性能和动态响应能力，保证主轴电机高速运行时的速度稳定性，电机空载时的电流只有0.9A左右，较友商(A: 2.7A，B: 2.8A)要小很多，满足晶圆研磨时的精度要求，同时能够借助Connect控制软件及Scope监控软件实时对电机的各项参数进行监控并优化，且安全转矩功能有利于满足设备。
（来源：尼得科驱动）
京公网安备 11011202001138号
