国内首台 | 搭配OT-193℃相机的最新款微光显微镜，完成了!

2024年1月，国内第一台搭配有Solid InGaAs Camera(产品型号：C8250-69-40)和半自动探针台(产品型号：C16688-92-01)的iPHEMOS-MPX机台已经在杭州安装完成。这款产品融合了滨松最新款工作温度降低至-193℃的Solid InGaAs Camera与拥有三种扎针方式的半自动探针台，为大家带来前所未有的用户体验!

图1滨松最新款iPHEMOS-MPX

滨松推出最新款Solid InGaAs Camera，采用独特的帕尔贴制冷技术，将工作温度降低至惊人的-193℃，解决了液氮制冷使用成本高、维护复杂以及液氮泄露风险等问题。随着制冷温度的进一步降低，InGaAs相机的暗电流大大减小，降低了噪音，大大提高信噪比，实现更灵敏的热点抓取。

图2 Solid InGaAs Camera产品展示

这款相机专为先进制程的晶圆厂客户设计，目前仅可安装在iPHEMOS-MPX。

图3 Solid InGaAs Camera工作温度低至-193℃

滨松设计的最新款半自动探针台以其超凡性能为客户提供三种样品扎针方式：方卡、圆卡、探针座，助客户实现probe card或manipulator的逐个die或者任意die的上下针测试。

图4 三种样品扎针方式：方卡，圆卡，探针座

不仅如此，这款探针台能够匹配12寸或8寸晶圆尺寸，轻松满足新老设备的需求。而其XY轴重复精度±3μm，确保样品稳定上下针，且震动极小。这不仅提高了测试效率，更能保证测试结果的准确性。

未来，通过与sequencer软件和其他辅助设备相结合，我们有望实现客户生产的每一片晶圆内任意一颗die的抽检或全检，从而将传统的离线机台转变为高效的在线机台。这一创新将极大地提高晶圆厂的良品率，并为工艺改善开辟新的道路。

滨松的微光显微镜，历经30年的研发与生产积淀，以其卓越的稳定性和超高的侦测灵敏度，赢得了全球用户的信赖。我们的机台远销世界各地，见证了滨松的卓越品质。我们始终与全球顶尖的半导体制造厂家紧密合作，共同开发前沿产品，致力于满足国内外客户的多样化需求。滨松，与您共同开启智能制造的新篇章。

（来源：滨松中国）