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设备管理与维护

伊玛CD型电容传感器应用于半导体设备

  2009年08月19日  

 应用描述

    上海松江某半导体设备制造厂原先使用其它厂牌的浮子开关,但是却无法及时反应液位内高低,且维修上如需要停机则还要防止液体从管孔流出。


解决方案
 
    我们建议选用伊玛的一触式电容式接近传感器CD0001/CD0002,安装于半导体清洗生产线,替代客户先前使用的浮子,因为不直接接触溶液,维护起来更加方便稳定!
 
    此款CD型智能型电容式接近传感器,具备技术领先的”One-Touch”一触式学习功能,摆脱传统的方法转旋钮调整,设定者只要轻轻一触则可完成自动学习和远程设定。感应距离高达到15mm,透过扁平式的结构节省空间且可轻易的安装,并增强抗电磁干扰。透过全密封设计,可长时间工作于恶劣环境,性能稳定。具有穿透管壁的功能,无需将管道穿孔,即可轻松的安装在管上,安装相当容易。优点如下:可靠性高、具抗干扰能力,可满足感应速度要求,由于无需穿孔且可轻易的绑在管道上,使用和维护都相当方便,非常适合半导体的使用环境,成本相对来说比较低。

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