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KLA为RET开发人员提供最佳方案,基于Linux的新光刻优化工具震撼登场

  2007年06月05日  

KLA-Tencor公司推出了一种基于Linux的新光刻优化工具LithoWare,能使半导体电路设计师减少开发IC的时间和成本。LithoWare基于该公司的软件仿真工具Prolith产品。

大多数EDA产品在Linux/Unix环境下运行。有了LithoWare,用户能载入GDSII文件,选择多仿真区域,通过改变运行中的照明,互动引导OPC decoration,然后将经过OPC装饰的掩模输出为一个GDSII文件。

“LithoWare为RET开发人员提供了两个最佳的方案,”KLA-Tencor工艺分析部总经理 Edward Charrier表示。“RET工程师能使用LithoWare灵活、可预测能力,在开发光刻条件如照明、最新的光阻及其它时同时优化OPC。采用 LithoWare,他们能更快速的创建RET方案,然后确保它在整个工艺窗口正常工作---从而实现了更可靠、制造性更高的设计。”

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