SEMI推动全球MEMS标准的建立

国际半导体设备暨材料协会(SEMI)正与亚太区的微机电系统(MEMS)设计师和制造商接触,为建立全球MEMS标准而寻求支持。SEMI相信该标准可以将这一快速发展但却支离破碎的行业统一起来。

这一努力开始于最近在此间举行的台湾半导体设备暨材料展,其间,SEMI属下的国际MEMS指导组织(IMSG)的一位成员与台湾公司举行了会晤,以评估它们对该计划的兴趣。类似的调研还会在明年初在韩国举行的半导体设备暨材料展期间进行。

这两次会谈将补充在日本的委员会正在进行的工作,那里已经建立起一个咨询工作组和标准委员会,但尚未决定该优先处理哪些问题。

随着从汽车轮胎到助听器、从光纤开关到微显示器件等潜在应用领域的不断扩展,MEMS技术在过去的1到2年里在全球的人气大增,新兴的设计公司和MEMS制造厂似乎到处涌现。

中国、印度、日本、韩国、新加坡和台湾从事MEMS技术研发的新兴公司使得亚太区尤为活跃。大家都基于同样的技术基础攫夺一块膨胀的市场,可却几乎没有标准也没有统一的应用。但有预测说,该市场将从2002年的约47亿美元上升到2006年的96美元。

国际MEMS指导组织的标准小组委员会期望将所有MEMS活动规范起来。北美和欧洲业已开始为材料测试、晶圆加工、I/O接口和包装等基本细节起草指导原则。代表们说,类似的工作不久也将在日本展开。

“我们希望做的是,通过对那些无需保密的方面实施标准化,使MEMS生产商更容易地制造产品,”BayTech 集团主席Winthrop Baylies表示,他还是国际MEMS指导组织内执行小组的成员。

例如,微射流技术有一系列应用,但都基于同一原理。对用于晶圆邦定的材料和工具来说,情况也是这样,即使邦定工艺可能不同。

国际MEMS指导组织正是寻求为这些相同的领域建立标准,这样的标准将帮助工具制造商设计公共平台,还有助于MEMS设计师带着能从不同生产设备中得到相似产品的信心,寻找第二家生产厂商。

最少20家专门从事MEMS器件研发生产的公司,在过去的两年中,已在台湾设立办事机构,以后可能会更多。这一活力部分地得益于台湾当局为使MEMS产业在本地生根、开花、结果所采取的建立研发学术中心和孵化培育设计机构的举措。当局还鼓励设立MEMS代工厂,在过去的两年间,民间资本已经创立了若干家这样的工厂。

同时,台湾地区工业技术研究院(ITRI)一直试图起着标准的特别来源的角色。国际MEMS指导组织将和工业技术研究院携手,以进一步强化这方面的工作,且看起来有意组建一个全球机构。“我们需要一家机构来做这事,而不是几家公司,”立生(Antek)半导体公司负责技术发展的副经理温荣弘说道,立生是台湾的一家MEMS代工企业。

但是,温指出,该过程必须要包括制造工艺和MEMS应用。“总体上,我们该有一个MEMS标准,但如果产品非常特殊,我们就该寻找某些模块化的代工。例如,在IC代工中,我们有一种外延层模块。与此类似的某种东西是很适宜的,”他说。

作者:陈得年